电子探针微区分析
试样非破坏性微区化学元素定性定量分析方法
电子探针微区分析又称电子探针显微分析,是试样非破坏性微区化学元素定性定量分析方法。
介绍
试样直径在1 m、体积 T 1 um3范围,以直径Cf . 一lum的电子束激发,其中各种元素受激发射出
特征x射线
。以此确定微区中所含化学元素, 并根据其强度进行定量分析。可用显微镜确定试样某一位置 上的组分及组分的空间分布
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最新修订时间:2024-03-19 18:44
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