电子衍射方法是利用电子衍射图样测定物质结构和性质的方法。电子具有粒子性和波动性，电子速度越快，其波长越短。晶体是由许多平行的晶面堆积而成的，快速电子的波长与晶体内原子层之间的间隙相近，因此当电子束与晶体内原子相互作用时便产生散射波之间的干涉效应，从而使某些方向上的干涉条纹增强，某些方向上的条纹相消，形成衍射图样。

电子衍射现象首次是由戴维逊等人观察到的，这是证实微观粒子具有波动性的著名实验。对电子衍射图样的分析，在化学上可鉴别某些物质，同时可确定原子在物质中的位置。利用电子衍射方法，人们还可获得有关引起电子衍射的气体、液体、固体的性质和结构方面的信息。