电弧蒸发
材料科学技术名词
电弧蒸发，将
蒸发材料
作为电极，在外加电压下，电极间依靠等离子体导电产生
弧光放电
，从而使电极材料被蒸发。
应用学科
一级学科
材料科学技术
二级学科
材料科学技术基础
三级学科
材料合成、制备与加工
四级学科
薄膜制备技术
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最新修订时间：2024-05-21 17:56
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