相干散射是指入射线光子与
原子内受核束缚较紧的电子(如内层电子)发生弹性碰撞作用，仅其运动方向改变而没有能量改变的散射，相干散射又称为弹性散射.
相干散射的产生及特点可用经典电动力学的观点加以说明当入射线光子能量不足以使原子电离也不足以使原子发生能级跃迁时，原子中的电子可能在入射线电场力(交变电场)的作用下围绕其平衡位置产生与入射线频率一致的受迫振动并从而产生交变电磁场，如此，每个受迫振动的电子便成为新的电磁波源，向四周辐射与入射线同频率的电磁波.即入射线被电子散射实质上是在入射线作用下电子作为新的电磁波源产生的次级电磁辐射.在入射线作用下，因晶体中各个电子受迫振动产生的散射均与入射线具有确定的位相关系，故而各电子散射波间有可能产生相互干涉，所以称为相干散射.