真空区域
机械工程名词
真空区域（range of vacuum）是2013年公布的机械工程名词。
定义
根据一定的压力间隔所划分的不同的真空范围或真空度。按气体分子的物理特性划分如下：105～102Pa为低(粗)真空；102～10-1Pa为中真空；10-1～10-5Pa为高真空(HV)；＜10-5Pa为超高真空(UHV)。
出处
《机械工程名词 第五分册》第一版。
参考资料
真空区域
.术语在线.
最新修订时间：2022-03-10 22:34
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