真空沉积技术是真空镀膜。真空气相沉积是利用
热蒸发或
辉光放电、
弧光放电等物理过程,在基材表面沉积所需涂层的技术。
它包括真空蒸发镀膜、离子镀膜和溅射。
另外,引入反应气体 ( O2, N2, CH4, B2H6, H2S, …)可以在低温条件下生成氧化物,氮化物,碳化物,硼化物等化合物 。
PEMSTM 技术
本公司应用PEMSTM(等离子体增强磁控溅射)技术进行真空沉积。它相对于传统的真空沉积技术既可以获得高密度、高结合力的涂层,又能在低温下进行处理,从而不影响零件的基体性能。
此技术尤其适应于建立降低摩擦系系数和抗磨损性的超硬
金属陶瓷沉积层。
采用阴极弧方式沉积的涂层表面 采用PEMSTM技术沉积的涂层表面
主要优点有:
被处理材料范围很广(金属,陶瓷,聚合物,玻璃);
涂层均匀,成分精确;
一机多用,可在多种模式下运行:
-PVD (物理气相沉积) 形式
-建立复合沉积层(例如:TiN+DLC)
工艺灵活,根据客户具体要求,方便的对准程序进行调整,优化沉积层质量.;
沉积前,在炉内自动对零件和靶材同时进行清洗,以保证得到高结合力和成份准确的沉积层。
涂层
涂层 硬度(HV) 减少摩擦的程度 抗热氧化 颜色
CERTESSTM X ** ** **
CERTESSTM N * * ***
CERTESSTM Ti ** * **
CERTESSTM SD **** ** ***
CERTESSTM C *** * **
CERTESSTM T ** * ****
CERTESSTM DLC * **** *
用*号多少表示程度高低
优点
与其他镀层或表面处理方法相比,真空气相沉积具有以下特点:
镀层材料广泛,可以各种金属、合金、氧化物、氮化物、碳化物等化合物镀层,也可以镀金属、化合物的多层和复合层;
镀层结合力强;工艺温度低,工件一般无受热变形或材料变质的问题;镀层成分准确、组织致密;
工艺过程由电参数控制,易于控制、调节;
对环境无污染。
应用
机械摩擦件:
汽车:活塞、活塞环、轴、气门摇臂、喷油器、挺杆
液压机械:进气阀、闸门旋塞
医疗器械:人造骨膜、手术器械
纺织:线导套
其他:滑轮、滑阀、轴承、齿轮、支架
精密机械零件
工具:
各种材料的压印、冲压模具
机械加工(钻孔、铣削、攻丝 、车削…)刀具