真空紫外光谱区，又称远紫外区(far ultra violet region)，即在电磁波谱上波长为10一195nm的波段。

组成空气的成分氮、氧、水蒸气和惰性气体对远紫外辐射具有强烈的吸收。氧有两个吸收区，为195--176nm和110--30nm;氮的吸收区为145--99nm;水蒸气也有两个吸收区:一个是178--10nm左右，另一个是134--I0nm左右。惰性气体对远紫外辐射吸收较小，可忽略不计。