硅基半导体材料
以硅材料为基础发展起来的新型材料
硅基半导体材料(silicon based semiconductor materials)是以硅材料为基础发展起来的新型材料
释义
包括绝缘层上的硅材料、锗硅材料、多孔硅、微晶硅以及以硅为基底异质外延其他化合物半导体材料等。
参考资料
最新修订时间:2024-07-11 09:27
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概述
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