1619年起成为福山藩
水野胜成的领地，直到
1698年因水野胜岑过世后无留下子嗣，而后部分地区成为德川幕府的
天领，部分地区则成为
中津藩的飞领。
1889年04月01日：实施町村制，现在辖区在当时分属：
神石郡阿下村、有木村、上野村、小野村、上村、上丰松村、龟石村、木津和村、草木村、来见村、小畠村、笹尾村、下丰松村、新坂村、李村、高盖村、高光村、田头村、近田村、父木野村、常光村、中平村、永渡村、花济村、福永村、古川村、牧村、光末村、光信村、油木村。
1897年07月01日：有木村、上丰松村、笹尾村、下丰松村、中平村
合并为丰松村。 1897年07月11日：上野村、李村、近田村、花济村合并为仙养村。
1917年08月01日：油木村改制为油木町。
1940年11月10日：草木村、田头村、福永村、牧村合并为新设置的牧村。
1942年04月01日：阿下村、上村、龟石村、小畠村、常光村合并为新设置的小畠村。
1943年04月01日：高光村、古川村合并为新设置的高光村。
1944年01月01日：木津和村、高盖村、父木野村、光末村、光信村合并为新设置的高盖村。
1949年07月01日：芦品郡大正村的桑木地区被并入高盖村。
1954年03月31日：
甲奴郡阶见的部分地区被并入高盖村。 1954年11月03日：高光村和牧村合并为神石町。
1955年03月31日： 来见村、小畠村、高盖村合并为
三和町。 永渡村被并入神石町。 1955年04月01日：油木町、小野村、新坂村合并为新设置的油木町。
1956年03月31日：油木町与仙养村合并为新设置的油木町。
1959年07月01日：芦品郡藤尾村的部分地区被并入三和町。 2004年11月05日：油木町、神石町、丰松村、三和町合并为神石高原町。