离子探针方法是将质谱测定技术与离子发射显微镜技术相结合的现代仪器分析方法。能提供一般质谱分析所不能提供的试样微区质谱。由于它能对固体物质作微区、微量及深度成分分析，在某些条件下检测灵敏度可达ppb数量级，因此被广泛地应用于半导体、冶金、地质和生物研究等部门。

其原理是利用聚焦的高能一次离子束轰击试样表面，溅射出表征试样成分的二次离子束，通过磁场完成质荷比分离，根据二次离子的质荷比和强度来进行定性和定量分析。