离子束沉积
金属表面涂层技术之一
离子束沉积，金属
表面涂层
技术之一。属气相沉积方法。用离子源将用作沉积的材料离子化,在电场作用下射向工件(基材)表面沉积成膜层。目的是改变工件表面性能。
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离子束沉积
.大辞海.
最新修订时间：2022-01-10 16:30
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