精密水准仪一般是指精度高于±1mm/km的水准仪，我国水准仪系列中DS1等均属于精密水准仪。精密水准仪有微倾式、自动补偿式和数字式。精密水准仪主要用于高精度测量工程如：建筑物、构筑物、地面的沉降观测、重要工程高程控制网的布设、大型建筑物的施工和设备安装等测量工作。

精度水准仪的构造特点：水平视线精度高、光学测微器能提高读数精度、望远镜放大倍率大影像清晰、结构坚固性能稳定。

精密水准尺的构造特点：尺身中镶有铟钢尺带、尺面基辅双排读数、尺身附有圆水准仪、尺框不可伸缩。

仪器共分照准部、托板、三角基座和外壳等四部分。主要组成部分有望远镜、长水准器和符合棱镜系统、光学测微器和读数系统、微倾机构、竖直轴和制动、微动机构、安平螺旋等。

望远镜采用大口径复消色差物镜内调焦式。分划板上刻有楔形丝和视距丝。长水堆器采用膨胀系数极小耐高温的一玻璃制做的补偿式管状水准器。水准器与望远镜固定在一起气泡通过符合棱镜系统成象以提高读数的置平精度。光学测微器由平行玻璃板、测微分划尺、传动杆和测微螺旋以及测微读数系统组成。测微分划尺共刻有个分划歹相当望远镜光轴上下移动毫米适与毫米分划的锢钢水准标尺的分划间隔相应。因此，分划尺每格值为毫米可使高差数读到一毫米，仪器的望远镜长水准器和符合棱镜光学测微器微倾设备等，均装在同一用硬铝合金材料铸成并经时效处理的外壳内，使仪器对热影响的感应很小避免单向热辐射对角的影响。