纳米定位系统是一种用于机械工程领域的科学仪器，于2005年12月13日启用。

（1）微驱动平台X/Y/Z最大行程100?m，3.4mrad，重复定位精度25nm，闭环/开环分辨率2/1 nm，最大载荷+15/-5N； （2）宏驱动行程25mm，定位精度2.5?m，最大速度1.5mm/s，最大载荷200N；（ 3）低压压电陶瓷：行程45?m，推/拉力1000/50N，电压0-100V； （4）高压压电陶瓷：行程60?m，推/拉力4500/500N，最大电压-1000V。

光纤对接、纳米级精度的微测量、微定位等的研究工作。