纳米粉的制备大致分为气相法和液相法。其中气相法包括:
化学气相沉积(CVD,chemical vapor deposition)、激光气相沉积(LCVD, laser chemical vapor deposition)、真空蒸汽和电子束和射线束溅射等。其缺点是设备要求较高,投资较大。液相法包括:溶胶-凝胶(SOL-GEL)法、水热(hydrothermal synthesis)法和沉淀(co-precipitation)法等。其中SOL-GEL得到广泛的应用,主要原因是:①操作简单,处理时间短,无需极端条件和复杂仪器设备;②各组分在溶液中实现分子级混合,可制备组分复杂大分布均匀的各种纳米粉;③适应性强,不但可以制备微粉,还可以方便的用于制备纤维、薄膜、多孔载体和复合材料。