维持泵
用于输送的动力设备
维持泵,在真空系统中,气量很小时,不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作,此泵叫维持泵。
如扩散泵出口处配一台小型旋片泵,就是维持泵。
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最新修订时间:2022-07-23 10:53
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