聚乙烯醇肉桂酸酯_一种负型光致抗蚀剂

聚乙烯醇肉桂酸酯

一种负型光致抗蚀剂

聚乙烯醇肉桂酸酯（Poly(vinylcinnamate)），淡黄色液体，乙烯基-3-苯基-2-丙烯酸酯的均聚物, 是一种负型光致抗蚀剂，在紫外光照射下聚合，不见光的部分不聚合。

化学性质

曝光显影后图形分辨率好，质量稳定，对二氧化硅、硅、铝、氧化铬等材料有良好的附着力，能耐氢氟酸、磷酸腐蚀。广泛用于制备集成电路、电子元件的光刻工艺，亦适用于印刷线路板、金属表牌、光学仪器、精密量具等微细图形的加工

制备方法

聚乙烯醇与肉桂酰氯在吡啶溶剂中反应制备.

用途

（1）光致抗腐蚀剂,在紫外光照射下聚合，不见光的部分不聚合。曝光显影后图形分辨率好，质量稳定，对

二氧化硅、硅、铝、氧化铬等材料有良好的附着力，能耐氢氟酸、磷酸腐蚀。

（2）广泛用于制备集成电路、电子元件的光刻工艺，

（3）适用于印刷线路板、金属表牌、光学仪器、精密量具等微细图形的加工.和半导体器件不可缺少的产品。

参考资料

最新修订时间：2022-12-30 17:48

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化学性质

制备方法

用途

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