聚烃类树脂是指
天然橡胶或
聚异戊二烯合成橡胶在催化剂作用下，部分环化而制成的。一般说来,橡胶具有较好的耐腐蚀性，但是它的感光活性很差。橡胶的分子量在数十万以上,因而溶解性甚低，无论在
光致抗蚀剂的配制或显影过程中都会造成很大困难。因此，直接采用橡胶为原料配制光致抗蚀剂是不适宜的。
交联剂又称作架桥剂，是聚烃类
光致抗蚀剂的重要组成部分，这种光致抗蚀剂的光化学固化作用，依赖于带有双感光性官能团的交联剂参加反应，交联剂曝光后产生双自由基，它和聚烃类树脂相作用，在聚合物分子链之间形成桥键，变为三维结构的不溶性物质。