能量分析器是一种用于物理学、化学领域的分析仪器，于2010年12月07日启用。

半球形能量分析器通过改变同心半球内外二面的电位差值通过对电子动能进行扫描，获 得电子强度与电子动能的关系-即能谱图。PHOIBOS 100 MCD对电子能量的分辨率为0.1eV；在高能量分辨率X射线光源的配合下，各纯元素和一些化合物的峰宽(FWHM)一般控制在在0.4–0.6 eV。

半球形能量分析器通过改变同心半球内外二面的电位差值通过对电子动能进行扫描，获 得电子强度与电子动能的关系-即能谱图。PHOIBOS 100 MCD对电子能量的分辨率为0.1eV；在高能量分辨率X射线光源的配合下，各纯元素和一些化合物的峰宽(FWHM)一般控制在在0.4–0.6 eV。配合X射线光源和紫外光源等光源的使用，可以实现对反应物种物种能谱信息的实时测量，以获取在不同实验条件下，样品表面物种随着反应条件不同的能谱图。通过对相应能谱图的解析来分辨在反应过程中各物种变化的实时检测。