薄膜电致发光材料(thin-film eletroluminescent materials)，TFEL当发光体制成薄膜形式时，在电场作用下出现的发光现象称为薄膜电致发光。具有这种性能的薄膜称为薄膜电致发光材料。最主要的基质材料是ZnS,也是将发光体夹在两个平行平板电极之间，其中一个是透明或半透明的如导电玻璃等。当在两电极上加一电压时，电致发光从其中透射出来。薄膜的厚度一般是1μm左右。薄膜电致发光也分直流和交流两类。薄膜电致发光屏因可制成平板等各种形状，因此具有视角大、光线柔和、制备工艺简单、造价便宜等特点，在显示和显像方面是很理想的发光器件。

纯的ZnS薄膜是没有电致发光的，只有掺入激活剂才能电致发光，因此激活剂的掺入对薄膜电致发光具有重要作用。激活剂加入方法主要有:1.在原材料灼烧前加入激活剂，然后将这些材料直接蒸发，得到电致发光薄膜；2.先制成ZnS 薄膜，然后将它埋在所需激活剂的粉末材料中，经高温灼烧，使激活剂扩散到ZnS 薄膜里使薄膜激活；3.将ZnS:Mn 薄膜浸在稀的铜盐水溶液中，经处理使其表面形成一层硫化铜，得到直流电致发光薄膜；4. 将ZnS和稀土氟化物或单质分别装在两个舟里，同时蒸发，获得电致发光薄膜； 5. 离子注入法，如将Mn 离子以10kV 的能量注人到ZnS 薄膜中，然后在600°C 氩气氛中处理，用Al 作背电极而获得ZnS:; Mn 薄膜。

制备发光薄膜方法有：1.真空蒸发，其中有电子束蒸发和多源共蒸发；2.溅射，最常用的为射频溅射；3.外延技术如分子束外延(MBE) 和原子层外延(ALE)；4.化学气相沉积，主要是金属有机化合物化学相沉积(MOCVD) 技术。