设计手册_设计者准备的参考书，每一个技术节点的一类器件都有一个设计手册

设计手册

设计者准备的参考书，每一个技术节点的一类器件都有一个设计手册

设计手册是为设计者准备的参考书，每一个技术节点的一类器件都有一个设计手册。

设计手册虽然是为设计者准备的参考书，但是有些内容对于光刻工程师，特别是“layer owner”，非常有用。这些内容包括：

（1）器件的整个结构；

（2）制造流程中所有光刻层的名字、功能及最小线宽要求；

（3）光刻层之间对准的顺序；

（4）针对不同功能的器件，哪些光刻层可以省略；

（5）在BEOL部分，哪些光刻层是在超低介电常数材料上，哪些光刻层是在低介电常数上，以及每一种介

电层的厚度；

（6）每一个光刻层的设计规则。

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最新修订时间：2022-01-11 14:11

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