超高速示波器是一种用于信息与系统科学相关工程与技术、电子与通信技术、信息科学与系统科学领域的电子测量仪器，于2017年07月03日启用。

主要技术指标 1、带宽大于50 GHz；2、采样率大于80 GS /S； 3、100 ps之内能采样10点以上； 4、存储深度大于32 M； 5、当周期为500 ps时，能确保在PRBS15 进行10个完整周期的采样； 6、示波器所引起的抖动小于0.5 ps； 7、ADC精度大于等于8位； 8、具有眼图分析功能； 9、能通过GPIB 远程控制设备并提供Labview驱动程序；。

1、对CMOS，特别是新材料（Ge/III-V）器件进行高速的电学特性测量。 通过超高速示波器，可对器件的栅氧半导体界面层的缺陷台的载流子捕获与释放时间的物理机制可进行全面的分析；对于高迁移率沟道的GeMOSFET和III-V MOSFET的器件物理进行深入研究。 2、对CMOS器件进行加速可靠性测试时，对CPU中的器件进行实际工作状态模拟（PRBS15）， 并用眼图进行分析。 对温度偏压不稳地性（NBTI）等可靠性测试下的器件的使用寿命提供更加准确的预测，并在对用电荷泵（charge pumping）的可靠性测试中，提供更高精度的测量。