趋肤效应使导体的有效电阻增加。频率（f）越高，趋肤效应越显著。当频率很高的电流通过导线时，可以认为电流只在导线表面上很薄的一层中流过，这等效于导线的截面减小，电阻增大。既然导线的中心部分几乎没有电流通过，就可以把这中心部分除去以节约材料。因此，在高频电路中可以采用空心导线代替实心导线。此导线的厚度，称为趋肤深度。

同时也被称作趋肤厚度。

趋肤深度一般计算公式为

其中

——穿透深度（m）

——角频率，ω=2πf（rad/s），f为磁场频率

——磁导率（H/m）

——电阻率（Ω·m）

——电导率（S/m）

如图1所示，如果采用了内部的防护罩，在防护罩上沿着线圈的长度方向要切割出很多狭缝对于任何导体，在等离子体中的射频场都会透入一定深度，这个深度称为趋肤深度。投入深度与激发频率成反比例，透入深度同样也与等离子体的传导率成反比例。这样，能量越高、离子浓度越高，透入深度也就越小。