软X射线谱学显微线站_分析仪器

软X射线谱学显微线站

分析仪器

软X射线谱学显微线站是一种用于物理学、化学、材料科学、能源科学技术领域的分析仪器，于2010年1月10日启用。

技术指标

光源类型波荡器能量范围 85 150eV 样品处光通量 1x014phs/s/cm2@300mA@92eV 掩膜处光斑尺寸 3×3mm2 (H × V) 干涉条纹周期 100nm 单次曝光尺寸 0.4x0.4mm2。

主要功能

双光栅干涉多光栅干涉。

参考资料

软X射线谱学显微线站.国家科技基础条件平台中心.

最新修订时间：2021-01-15 16:57

条目作者

概述

技术指标

主要功能

参考资料