重氮树脂
用于光刻工艺和印刷制版的光刻胶的材料
重氮树脂英文名称是diazo-resin,主要用途是
光刻工艺
和
印刷制版
的
光刻胶
。
制备方法
在
聚合物
结构中引入重氮结构,在光的作用下重氮基团能发生
光解反应
生成
正碳离子
(在
极性介质
中)或者中性自由基(在非极性介质中),根据进一步
反应
的不同,可以发生
异构化
现象,或者
交联反应
,可以构成正性或负性
光敏树脂
。
在光的作用下脱去重氮基团,聚合物由
水溶性
转为在水溶液中不溶解的
树脂
,因此是负性光敏材料。
而含有邻重氮醌基结构的聚合物在光的作用下发生光分解反应,经分子内重排生成
有机酸
,构成碱溶性树脂,是正性光敏材料。
此外
重氮基
分解生成的正碳离子还可以与
羟基
反应生成醚键,或者与
烃基
发生
插入反应
,导致
光交联反应
发生。
上述重氮材料均是重要的用于
光刻工艺
和
印刷制版
的
光刻胶
。
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最新修订时间:2022-07-26 11:09
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