金属离子注入
将离子源产生的金属离子加速注入工件的过程
金属离子注入是2011年公布的材料科学技术名词。
定义
将离子源产生的金属离子加速注入工件的过程。
出处
《材料科学技术名词》。
参考资料
金属离子注入.术语在线.
最新修订时间：2023-01-15 23:22
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