钦酸钡薄膜是指以BaTiO3为电介质的薄膜介质材料。
简介
钦酸钡薄膜是指以BaTiO3为电介质的薄膜介质材料。
性能
它的性能与制备工艺条件密切相关，其介电常数在16~1900范围内。例如蓝宝石上无定形薄膜的ε为16左右。
过程
BaTiO3薄膜的损耗与薄膜结构有关，无定形膜的损耗为0.5%，多晶膜则为6. 5%。射频溅射制备BaTiO3薄膜，溅射靶是由BaCO3和TiO2在高温下(1400 C)生成的BaTiO3，再经研磨成粉末、压成圆片、烧结而成。
用途
基片用铂片，在基片温度为20~1000度下沉积，然后在1000 C大气中进行热处理，其介电常数可达1580~17000。BaTiO3薄膜可用于制造大容量的电容器。