镀膜机
工艺试验仪器
镀膜机是一种用于材料科学领域的工艺试验仪器，于2014年7月25日启用。
技术指标
极限真空：8.0×10-5Pa， 基片台尺寸Φ200mm 可镀空间Φ300mm×H300mm 可镀空间Φ500mm×H600mm。
主要功能
镀薄膜。
参考资料
镀膜机.国家科技基础条件平台中心.
最新修订时间：2020-12-29 13:30
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概述
技术指标
主要功能
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