陕西省微纳传感器工程技术研究中心是成立于2008年11月的陕西省研究机构，依托西安交通大学，主要研究方向是应用MEMS技术和方法，研究前沿高性能微纳传感器，以及对重要行业有重大影响的微纳传感器的批量制造和产业化关键技术，为微纳传感器产业的新技术、新工艺、新装备的研究提供了一个基础平台。