静电力显微镜（英文名：Electrostatic Force Microscopy, 简称EFM）是一种利用测量探针与样品的静电相互作用，来表征样品表面静电势能，电荷分布以及电荷输运的扫描探针显微镜。

工作时，探针与样品之间被加上工作电压，悬臂梁探针受静电力的作用，在样品表面震荡，但不接触样品表面。范德华力随着原子间距离r成1 / r6衰减，因而原子力显微镜必须保证探针与样品表面几乎接触。相比之下，随1 / r2衰减的库仑力较为长程，通常探针与样品表面的工作距离为100纳米。假设样品与探针之间的电压为ΔV，等效电容为C，那么系统的总能量为：

用z来代表样品表面的法线方向，则探针所受的静电力可以表示为：

与原子力显微镜相同，静电力显微镜也可以在液体环境中工作。

在实际操作中，由于探针与样品之间既有范德华力，又有库仑力。即使选用较大的工作距离，有时仍不能完全忽略原子力存在。通常的解决方法是将探针与样品之间的直流电压改为交流信号。最后，在处理信号时，只处理相关频率的交流信号，就可以将范德华力的影响排除在外。 另见：开尔文探针力显微镜

Electric Force Microscopy-High Resolution and High Sensitivity Imaging of Electrostatic Force Electrostatic Force Microscope for Probing Surface Charges in Aqueous Solutions by S. Xu and M.F. Arnsdorf