高端电子制造装备高速高精点位操作的关键技术与典型应用，陈新等人完成的技术发明。

陈　新（广东工业大学）

高云峰（大族激光科技产业集团股份有限公司）

王　晗（广东工业大学）

杨志军（广东工业大学）

陈新度（广东工业大学）

王光能（深圳市大族电机科技有限公司）

2020年1月10日，荣获2019年度国家技术发明奖二等奖。

20年前，全球电子产业开始大规模转移到我国。时至今日，电子制造产业已成为我国重要的支柱产业，广东地区成为了全球电子制造中心。电子制造装备种类繁多、换代迅速、竞争激烈，高端装备与关键零部件长期依赖进口、价格昂贵、技术受制于人、产业基础薄弱。高速/高精点位操作是众多高端电子制造装备共性需求。时至今日，点位操作的速度/精度矛盾日益突出，成为行业国际竞争的制高点。

陈新教授介绍，定位的精度要求达到头发丝的五十分之一至七十分之一，这个精度在没有速度的要求下比较容易实现，但一旦有了高速度的要求，就变得非常难。“这项技术制约了我们很多高端装备都做不出来，或者做出来也比国外的效率低、精度差。”

为了解决这个难题，陈新教授领衔的团队，瞄准高端电子装备高速高精的共性需求，历经二十年的基础研究与技术攻关，突破了多项关键技术，建立了高速精密电子装备数字化设计与制造的理论与技术体系，研制了系列核心基础部件和典型高端装备，获得国内国际一流龙头企业的严格认证与批量采购。项目有力推动了系列电子制造装备的自主可控，服务企业千余家，为我国电子制造产业的高速发展做出了突出贡献。

据介绍，项目成果和后续研究将持续有力支持我国电子制造产业的自动化/智能化转型升级；系列基础运动部件将有力支撑我国高速高精电子制造装备的自主可控、持续创新与实现跨越。项目形成的理论与技术基础，将支撑与引领我国电子装备行业技术进步与健康发展。