高精度测量的精度要求很高，例如安装
通信卫星地面接收天线反射面，定位精度要求为 ±1毫米；一些自动作业线和高速运行装置的导轨安装精度要求为±0.1毫米；有些重要工程的测量工作,往往要求以当代
测量技术能达到的最高精度进行。
在
精密工程测量中，为把各种测量仪器精确地安置在测量标点上，要用精密的机械对中装置，其对中精度为0.1毫米至几微米。
根据工程特点常需布设相应的
平面控制网和
高程控制网。例如，对于线形工程，可以 布设由狭长三角形（各点近似在一直线上）构成的测角三角锁，用这种控制网测定的点位在锁的横向具有较高的精度。对于环形工程，为了 测量弧线上各待定点的平面坐标，可以布设环形导线；如果能用高于1/1000000的相对精度量矩，则宜布设环形测边锁，每个三角形中除了测量3条边的长度外，尚需测量中间点到长边的垂距（三角形的高）。为了测量大坝的位移，常在坝的下游布置
变形观测控制网。在这些控制网中常设计多 余观测元素，通过平差计算，使求得的待定点坐标的精度有所提高。
科学技术的发展为高精度工程测量提供了新的手段，如电子测量技术、
自动化技术等；也对高精度工 程测量提出越来越多的要求，如
射电天文学所需大型天线阵的安装，发射导弹的
导轨的安装都需要有极高的精度，一些对人体有害或人员不便到达的工程，则要求高 精度工程测量工作实现遥测。