三氟化氮（nitrogen trifluoride），是一种无机化合物，化学式NF3。常温常压下为无色气体，不溶于水，是一种强氧化剂但化学性质非常稳定。它是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，还可用作高能燃料。

熔点：-207℃

沸点：-129℃

折射率：1.187

外观：无色气体

溶解性：不溶于水

电子衍射的实验结果表明，NF3分子具有三角锥的结构，类似于NH3分子、F-N-F的键角为102.5°，N-F键的键长为1.37Å，它的偶极矩很小，仅为0.234D。有趣的是在NF3分子中,虽然F-N-F的键角比NH3分子的小，N-F键的极性比N-H键的强，但NF3分子的偶极矩却比NH3分子的1.47D小得多。在NH3分子中，孤对电子与氮原子的偶极矩和N-H键偶极矩的方向一致，这两部分偶极矩加合的结果，使NH3分子具有强的极性。在NF3分子中，情况却不然，其中孤对电子与氮原子的偶极矩和N-F键偶极矩的方向不一致，它们相互抵消了一部分，致使NF3分子的偶极矩很小。

三氟化氮颇稳定，这和它的生成热△H为-124.3kJ/mol-1有关、常温下它不和水、稀酸或稀碱作用。NF3似乎不具有碱性，它的质子亲和势较氨分子的小234kJ·mol-1，而质子亲和势的大小可用以衡量物质碱性的强弱。通常NF3要到250~300℃时才表现出它的活泼性，但它在70℃就能和AlCI3迅速地反应。

NF3和H2O(g)，H2，NH3，CO或H2S等的混合气体，遇火花即发生猛烈的爆炸，如：

2NF3 + 3H2O → 6HF + NO2 + NO

在熔融氟氢化铵存在时，采用氨直接氟化工艺，反应产物经过除雾器、淋洗器、分子筛吸附器，以及真空蒸馏，可分别除去各种杂质，最后用低温法收集得到NF3。它也可由电解熔融的NH4F·HF制得。

三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体。对硅和氮化硅的蚀刻，采用NF3和CF4＋O2的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染。氢与NF3反应，在瞬间伴随放出大量的热，这就是NF3在高能化学激光器方面大量应用的原理。在高温下，NF3与有机化合物反应常伴有爆炸性，操作时应十分谨慎。还可用作高能燃料。

疏水参数计算参考值（XlogP）：1.9

氢键供体数量：0

氢键受体数量：4

可旋转化学键数量：0

互变异构体数量：0

拓扑分子极性表面积：3.2

重原子数量：4

表面电荷：0

复杂度：8

同位素原子数量：0

确定原子立构中心数量：0

不确定原子立构中心数量：0

确定化学键立构中心数量：0

不确定化学键立构中心数量：0

共价键单元数量：1

摩尔折射率：6.26

摩尔体积（cm3/mol）：52.1

等张比容（90.2K）：86.3

表面张力（dyne/cm）：7.5

极化率（10-24cm3）：2.48

1、急性毒性

LC50：19000mg/m3（大鼠吸入，1h）；5600mg/m3（小鼠吸入，4h）

2、亚急性与慢性毒性

大鼠于308mg/m3浓度下，每天吸入7h，共4~5个月，见肝、肾有轻至中度病理改变，脾肿大，尿氟增高。

皮肤接触：脱去污染的衣着，用流动清水冲洗。若有灼伤，就医治疗。

眼睛接触：立即翻开上下眼睑，用流动清水冲洗15分钟。就医。

吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅，呼吸困难时给输氧。呼吸停止时，立即进行人工呼吸。就医。

迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防毒服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。

工程控制：严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。

呼吸系统防护：空气中浓度较高时，应该佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩）。

眼睛防护：戴化学安全防护眼镜。

身体防护：穿防毒物渗透工作服。

手防护：戴橡胶手套。

其他防护：工作现场严禁吸烟。保持良好的卫生习惯。

操作注意事项：严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩），戴化学安全防护眼镜，穿防毒物渗透工作服，戴橡胶手套。远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与还原剂接触。搬运时戴好钢瓶安全帽和防震橡皮圈，防止钢瓶碰撞、损坏。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。

储存注意事项： 储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、还原剂、食用化学品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

运输注意事项：铁路运输时须报铁路局进行试运，试运期为两年。试运结束后，写出试运报告，报铁道部正式公布运输条件。采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与易燃物或可燃物、还原剂、食用化学品等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。公路运输时要按规定路线行驶，禁止在居民区和人口稠密区停留。铁路运输时要禁止溜放。

S17：Keep away from combustible material.

远离可燃物料。

S23：Do not breathe gas/fumes/vapour/spray.

不要吸入气体/烟雾/蒸汽/喷雾。

S38：In case of insufficient ventilation, wear suitable respiratory equipment.

通风不良时，佩带适当的呼吸器。

R8：Contact with combustible material may cause fire.

与可燃物料接触可能引起火灾。