乙硅烷是一种无机化合物，化学式为H6Si2，在常温常压下为无色透明气体，具有刺激性气味。在空气中自燃，浓度在0.2％以上时燃烧会发出火焰，浓度低于0.2％时，则发生氧化反应生成白色的二氧化硅。与六氟化硫接触则爆炸。

分子量：62.22

熔点(101.325kPa)：-132.6℃

沸点(101.325kPa)：-14.3℃

液体密度(-14.3℃，101.325kPa)：901 kg/m

气体密度(-14.3℃，101.325kPa)：2.97kg/m

熔化热(-132.6℃，14055kPa)：1.34 kJ/kg

气化热(-14.3℃，101.325kPa)：343.74 kJ/kg

蒸气压(-80℃)： 3.4kPa；(0℃)： 181kPa；(80℃)： 1468kPa

着火点： 室温以下

乙硅烷为无色透明液体，在空气中自燃，着火点低于室温，遇到空气即瞬间燃烧，并分解成为SiH4和H2。燃烧浓度范围宽，浓度在0.2%以上时，燃烧发出火焰；浓度在0.2%以下时，进行氧化反应生成白色的SiO2。在氯气中爆炸性地燃烧。与卤素气体爆炸性地反应，但如果是在低温，则适度地进行卤化。与SF6接触则爆炸。与四氯化碳和氯仿激烈反应。与碱金属及汞合金反应分解生成硅烷和氢。与苛性钾作用游离出H2。与纯水和酸不反应，但与碱反应生成硅酸盐和氢。即使从玻璃中溶解出的那种程度微量碱的存在，也能使乙硅烷水解。在KH或LiCl杂质的存在时，在常温也缓慢地分解。

Si2H6 → SiH4 + (SiH2)x

乙硅烷可溶于二硫化碳、乙基醇、苯和乙基硅酸。它腐蚀橡胶、黄油类、润滑油、铅等，但对大多数金属不腐蚀。

1、疏水参数计算参考值（XlogP）：无

2、氢键供体数量：0

3、氢键受体数量：0

4、可旋转化学键数量：0

5、互变异构体数量：无

6、拓扑分子极性表面积：0

7、重原子数量：2

8、表面电荷：0

9、复杂度：0

10、同位素原子数量：0

11、确定原子立构中心数量：0

12、不确定原子立构中心数量：0

13、确定化学键立构中心数量：0

14、不确定化学键立构中心数量：0

15、共价键单元数量：1

Mg2Si + HCl → Si2H6 + MgCl2

反应产物为甲硅烷、乙硅烷、丙硅烷、丁硅烷的混合物，把它们精制分离后得乙硅烷。

用氢化铝锂等还原剂还原六氯乙硅烷。乙硅烷用低温精馏和吸附等方法精制。

甲硅烷经辉光放电后聚合生成高级硅烷，用液氮冷却回收，采用低温精馏法除去氢和甲硅烷即可。

1、用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。 在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。

2、在半导体工艺中用于外延和扩散工艺，也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。

有关乙硅烷的毒性方面的文献资料很少，但是从理论上以及其它类似氢化物的毒性中可以推测出，乙硅烷也是有毒的。

因为乙硅烷比硅烷更不稳定，所以，应该比硅烷更加注意。钢瓶温度不能冷却到乙硅烷的沸点(-14.3℃)以下，因为这是非常危险的。

因为乙硅烷在空气中自燃，很容易发现其泄漏，而且有时在泄漏时产生爆炸声，所以要沉着处理泄漏。当小量泄漏时，要站在上风方向去关闭钢瓶阀；关闭阀门仍然止不住时，要浇水并监视到完全烧完为止；或者转移到通风良好的安全场所。当大量泄漏时，主要考虑控制火势使火灾不扩展到别处。为此，要消除一切火源，把附近的可燃物转移出去；采取一切保护措施，例如，浇水降温，把泄漏容器沉入水中，让它在水面上燃烧，撤离人员，封锁危险区等，使人员和物质财富少受损失。