《低气压低温等离子体诊断原理与技术》是2010年6月1日
科学出版社出版的图书，作者是
叶超。
《低气压低温等离子体诊断原理与技术》介绍了低气压低温
等离子体诊断技术的基础知识，总结了近年来该领域的一些进展，提供了低气压低温等离子体诊断技术应用的实例。全书共7章。第1-3章主要介绍了等离子体的基本概念与性质，低温等离子体的产生方法和等离子体中的基本化学过程。第4章着重讲述了低气压低温等离子体的探针诊断技术及其应用。第5章介绍了低气压低温等离子体的波干涉诊断技术。第6章和第7章分别讲述了低气压低温等离子体的光谱和质谱诊断技术及其应用。本书附录中收集整理了部分原子、分子、离子发光的特征光谱谱线。