叶超
中国教授
叶超(1913—1988),湖北省武汉市黄陂区人。。一九三二年加入中国共产主义青年团。一九三七年入延安军大,同年加入中国共产党。一九六一年晋升为少将军衔。
个人简介
1986年毕业于苏州大学物理系,2006年获得苏州大学凝聚态物理博士学位,现为苏州大学低温等离子体创新研究团队核心成员,物理科学与技术学院大学物理教学部、国家物理实验教学示范中心副主任,“基础物理(实验)教学团队”国家级教学团队核心成员。主要从事低温等离子体物理、技术和凝聚态物理的研究。主持和参加各类科研项目10多项。在Appl Phys Lett、J Electrcohem Soc、《物理》等国内外学术刊物上发表论文80多篇。主编《低气压低温等离子体诊断原理与技术》(科学出版社)。Diamond and related materials、Chin. Phys. Lett.、Plasma Sci. & Technol.审稿人。获2008年江苏省科技进步三等奖、2000年苏州市科技进步二等奖、2009年江苏省高等教育教学成果二等奖。
研究方向
1、低温等离子体物理、技术:等离子体源物理与技术、等离子体与材料相互作用、低温等离子体光谱诊断、低温等离子体化学
2、凝聚态物理:等离子体诱导的软物质性能、微纳电子薄膜材料(低k材料)、薄膜材料的分形与物性
主要项目
1、纳电子器件中的SiCOH超低k材料及相关复杂性研究(国家自然科学基金2006-2008)
2、多频等离子体与硅基软物质的作用研究(国家自然科学基金2010-2012)
3、ECR等离子体中多碳氟基团的研究(国家自然科学基金2001-2004)
4、低气压多频等离子体与材料表面相互作用(国家自然科学基金重点项目2007-2010)
5、强磁场螺旋波等离子体物理及超导托卡马克壁清洗新技术(科技部2010年ITER计划国内研究项目2010-2013)
参考资料
最新修订时间:2021-02-02 22:20
目录
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