六甲基二硅氮烷，无色透明液体。易水解，放出NH3，生成六甲基二硅醚。在催化剂存在下，与醇或酚反应，生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。与无水氯化氢反应，放出NH3或NH4Cl，生成三甲基氯硅烷。可由三甲基氯硅烷与NH3反应来制取。用作气相法白炭黑表面疏水处理剂及有机合成反应中提供N原子的试剂，还可用作碳化硅纤维的助剂，提高碳化硅纤维的耐热性和强度，还可用作涂料的防沉淀剂。并用于制备有机硅化合物。

中文别名：1,1,1-三甲基-N-(三甲基甲硅烷基)硅烷胺;六甲基二硅氨烷;六甲基二硅胺;六甲基二硅胺烷;药用硅氮烷;六甲基二硅氮烷;六甲基二硅烷胺;六甲基二硅亚胺

英文别名：HMDS; Hexamethyldisilazane; DYNASYLAN HMDS; Bis(trimethylsilyl)amine; 1,1,1-Trimethyl-N-(trimethylsilyl)silanamine

结构式：见上图

性状：无色透明液体，无毒、略带胺味。熔点:-78℃。沸点：125℃。相对密度:0.774。折射率：1.4078。

溶解性：溶于有机溶剂。

闪点：57.2 °F。

储存条件：2-8°C。

水溶解性：与空气接触会迅速被水解生成三甲硅烷醇和六甲基二硅醚。

敏感性：Moisture Sensitive。

Merck：14,4689。

BRN：635752。

NIST化学物质信息：Silanamine, 1,1,1-trimethyl-N-(trimethylsilyl)-(999-97-3)。

EPA化学物质信息：Silanamine, 1,1,1-trimethyl-N-(trimethylsilyl)- (999-97-3)。

类别：易燃液体。

毒性分级：中毒。

急性毒性：口服-大鼠 LD50: 850毫克/公斤; 口服-小鼠 LDL0: 850毫克/公斤。

可燃性危险特性：遇明火、高温、氧化剂易燃; 遇水分解有毒硅化物气体; 燃烧产生有毒氮氧化物烟雾。

将109g（1.0mol）三甲基氯硅烷溶于500ml无水乙醚，通入氨气，立即出现白色沉淀。加热至回流，慢慢通氨维持6h，使氯化铵沉降、过滤，取乙醚溶液先蒸出乙醚，再蒸出六甲基二硅氨烷，得52.5g，收率65%。

S16Keep away from sources of ignition.

远离火源。

S26In case of contact with eyes, rinse immediately with plenty of water and seek medical advice.

不慎与眼睛接触后，请立即用大量清水冲洗并征求医生意见。

S36/37/39Wear suitable protective clothing, gloves and eye/face protection.

穿戴适当的防护服、手套和护目镜或面具。

S45In case of accident or if you feel unwell, seek medical advice immediately (show the label whenever possible.)

若发生事故或感不适，立即就医(可能的话，出示其标签)。

R11Highly flammable.

高度易燃。

R20/21/22Harmful by inhalation, in contact with skin and if swallowed.

吸入、皮肤接触及吞食有害。

R34 Causes burns.

引起灼伤。

用于生产橡胶、药物。该品是消减气相色谱载体表面吸附活的减尾剂。为阿米卡星药用中间体，是羟基及氨基保护剂。特种有机合成。硅烷化试剂，生产上可用于西胺卡那霉素。

可用于特种有机合成。阿米卡星、盘尼西林、头孢霉素、氟尿嘧啶及各种青霉素衍生物等合成过程中的甲硅烷基化。

可用于硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理，其作用机理是以硅氮键与硅羟基缩合。

在半导体工业中用作光致刻蚀剂的粘结助剂。

在有机硅氮烷化学中，可以用作与氯硅烷单体进行氯交换，从而获得聚硅氮烷。这种方法比直接通氨法在合成上有巨大优势。

1、贮存时，不准接触明火，应保持通风、干燥，防止阳光照射，贮存温度-50℃～45℃。

2、运输时，应避免碰撞，防雨淋、日晒。按危险品贮存和运输。

3、该产品易于水解，遇酸性物质易发生剧烈反应，应保存在密闭容器中。

本物质为简单的硅氮烷单体。在硅氮化学中占有重要地位。硅氮烷的特点是易于水解，易于与羟基反应消除羟基。广泛用作表面处理，增强粘结性。

另参见硅氮橡胶。