过一硫酸是一种无机化合物，其化学式为H2SO5，常温常压下为白色固体。

也称过氧硫酸，又名卡罗酸

化学式：H2SO5（也可写成SO3·H2O2）

分子量：114.07

性质：当H2SO4与H2O2混合,生成过氧单硫酸（H2SO5）可以看成是H2O2中一个氢原子被磺基–SO3H 取代的产物，即HOO–与–SO3H结合。无色吸水性晶体。熔点45*C，加热爆炸分解 。溶于硫酸、磷酸、冰醋酸。因含有过氧根而具有强氧化性，与芳香化合物（如苯、酚、苯胺）相混爆炸。在水中缓慢水解为硫酸与过氧化氢。它是一元强酸，其盐类反而不稳定。

这些基团可以与光刻胶中的碳高分子链反应,最终生成CO和CO2 。采用现有的piranha流程,为了使反应充分进行并得到合适的去胶速率,需要将溶液加热到150℃。不幸的是,灰化时离子轰击光刻胶造成了去氢的非晶碳层,该层与OH–和HSO4–反应基之间的反应很弱。

纯过一硫酸也叫高浓度矾氧混化剂VF，由三氧化硫固体与100%的无水过氧化氢反应制得，酸性、氧化性都比硝酸强，与金反应很剧烈。

H2SO5 由海因里希·卡罗最初制得，故也称“卡罗酸”（Caro's acid）。

实验室制法：混合充分冷却的氯磺酸和计量的无水过氧化氢：

H2O2 + ClSO2OH ⇌ H2SO5 + HCl

大规模生产可以用＞85% 硫酸和＞50% 过氧化氢的反应来制取过一硫酸：

H2O2 + H2SO4⇌ H2SO5 + H2O过二硫酸部分水解或用三氧化硫处理无水过氧化氢也可以得到过一硫酸。

过氧一硫酸被用于消毒。比如游泳池水或假牙的消毒。过氧一硫酸的碱金属盐被用于去木质素。

过氧一硫酸的铵盐、钠盐、钾盐被用于塑料工业中的聚合引发剂、刻蚀剂、土壤调节剂，以及用于对油进行脱色、除味处理。

过一硫酸钾被广泛用来做氧化剂（目前发现最强氧化剂，电极电势E=+2.51V）

就像所有的强氧化剂一样，过氧一硫酸应远离有机物（如醚、酮）储存，因为过氧一硫酸可以使这些物质过氧化，生成极不稳定易爆炸的过氧丙酮