广东省微纳加工技术与装备重点实验室隶属广东省科技厅和广东工业大学，于2011年9月由广东省科学技术厅批准成立。实验室以广东工业大学机电工程学院和香港理工大学超精密加工技术国家重点实验室伙伴实验室为依托，在现代机械制造创新研究的同时，形成了超精密制造的创新科研平台。

广东省微纳加工技术与装备重点实验室于2011年9月由广东省科学技术厅批准成立。科研团队主体来自广东工业大学机械工程学科、应用光学学科及自动控制学科科研团队。其中，教授14人、副教授12人、讲师11人，科研人员90%以上具有博士学位，包括广东省引进创新团队带头人1人。

1.微纳加工理论与技术

研究微纳加工基础理论、加工工艺与测量技术，包括微结构、平面、自由曲面的微纳加工机理、工艺与测量技术，纳-微-宏尺度效应下的材料去除机理，自主创新的核心加工工艺技术。

2.微纳制造装备及功能部件

纳米级精度数控装备、微细电解加工机床、超精密超高速核心功能部件（包括直线电机、气浮导轨、 气浮主轴、超精密数控系统、 快刀伺服系统、宏微复合平台等）

3.微纳加工工具

·微纳加工的刀具材料：聚晶金刚石PCD、聚晶立方氮化硼PCBN刀具；

·精密超精密陶瓷刀具：氮化硅与氧化铝陶瓷刀具；

·超精密磨削工具：树脂结合剂以及陶瓷结合剂两种精密磨削砂轮；

·超精密抛光工具：CMP抛光垫；纳米薄膜刀具：刀具涂层的设计原则与制备理论和工艺

在研项目

1.光纤接头V型微槽超精密加工机床；

2.液晶导光板辊筒型模具超精密加工机床；

3.5轴自由曲面超精密加工机床；

4.系列微纳加工核心工艺技术： 微结构电解-微火花复合成型工艺，磁流变、电磁流变复合研抛工艺，光栅玻璃纳米加工工艺等；

5.纳米精度定位装置：采用空气静压导轨和直线电机驱动方式，纳米级精度光栅反馈定位控制技术等多项最新技术实现纳米精度定位。超精密宏微复合运动平台；

6.快刀伺服装置：进给行程70um，响应频率1KHz；

7.超精密微纳米数控系统：插补周期0.1ms；

8.超精密加工刀具：包括PCD和PCBN超精密车削刀具、基于氮化硅和氧化铝基体材料的精密陶瓷刀具、树脂结合剂与陶瓷结合剂微粉砂轮、基于CMP研磨抛光的超精密研磨垫、研磨盘以及针对CMP抛光的钎焊法制备的单层细粒度金刚石修整器。

广东省微纳加工技术与装备重点实验室隶属广东省科技厅和广东工业大学，设立学术委员会、实验室办公室和实验室主任、副主任，专职管理人员。实验室主任全面负责实验室的业务、行政管理工作。学术委员会负责实验室的发展规划制定及其执行情况，指导实验室建设。实验室办公室负责实验室重大事务的决策与监督。根据重点实验室研究目标及其所涉及的研究领域设置1个工程项目部、4个研究室（微纳加工理论与技术研究室、微纳制造装备及功能部件研究室、微纳加工工具研究室和微纳器件研究室）。