本书收集了五篇文章．第一篇《电子光学微观分析仪器概述》，在讨论电子与物质的交互作用以及产生的各种信息（如弹性散射电子、二次电子、俄歇电子、特征X射线等）的基础上，简单介绍
透射电子显微镜、扫描电子显微镜电子探针微分析仪、
俄歇电子能谱仪等电子光学微观分析仪器的原理及特点，特别是它们在显微组织分析（微观形貌、化学成分、晶体结构）方面的应用．
第二篇《扫描电子显微镜》介绍了
扫描电镜的性能特点、成象原理、仪器结构、样品制备和应用举例．其它三篇介绍了电子探针定量分析方法；电子探针中关于X射线测量的统计误差处理；以及电子探针的电气性能测试方法和维护使用问题．