晶格失配_半导体术语 - 线报百科mbji.cn

晶格失配

半导体术语

晶格失配，是指由于衬底和外延层的晶格常数不同而产生的失配现象。

术语介绍

当在某种单晶衬底上生长另一种物质的单晶层时,由于这两种物质的晶格常数不同,会在生长界面附近产生应力,进而产生晶体缺陷——失配位错.通常把这种由于衬底和外延层的晶格常数不同而产生的失配现象叫晶格失配

晶格失配度 (以下简称失配度 ), 即晶格错配度 ,是描述衬底和外延膜晶格匹配的参量。晶格失配和热膨胀系数失配不同程度地影响晶体的外延生长 ,在外延层中产生大量缺陷, 甚至无法生长单晶 ,影响器件的性能和寿命。

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最新修订时间：2023-08-02 16:53

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