电子束热处理是利用高能量密度的电子束加热，进行表面淬火的新技术。电子束是由电子枪呢热阴极（灯丝）发出的电子，通过高压环形阳极加速，并聚焦成束使电子束流打击金属表面，达到加热的效果。被处理零件的加热深度，是加热加速电压和金属密度的函数，当功率为150kw时，在铁中的理论加热深度为0.076mm，而在铝中的则为0.178。

电子束热处理是指以高能量密度的电子束冲击金属表面，在极短的时间内达到相变温度范围，然后自冷淬火热处理工艺。

电子束热处理包括电子束表面合金化，即用电子束加热涂覆在工件表面的粉末状合金元素(单一金属或合金粉末)使其熔化并扩散入基体表面层，从而得到耐磨、耐腐蚀或耐热的表面层。

电子束是由电子枪内热阴极(灯丝)发出的电子，通过高压环形阳极加速并聚集成束，使电子束流打击金属表面，达到加热的效果。表面加热深度主要取决于加速电压。

电子束热处理的主要优点是加热速度快，变形小；淬火后可获得细晶组织。

电子束热处理装置是利用电子束的能量对炉料进行热处理的电热装置。

以电子束作为热源，以极快速度加热工件并自冷硬化的淬火工艺。