蚀坑
半导体硅材料表面的微缺陷
蚀坑，半导体硅材料表面的一种微缺陷。呈三角形。
相关
蚀坑
是硅抛光在-100度高温处理后，再用化学腐蚀在表面出现的高密度腐蚀坑，使光滑的表面变成雾状，因此得名。
参考资料
最新修订时间：2023-02-12 15:17
条目作者
小编
目录
概述
参考资料

Copyright©2024 闽ICP备2024072939号-1