西安交通大学精密工程研究所成立于1996年，其前身为机械学机制教研室公差组、微型技术教研室、精密技术教研室，是机械工程和
仪器科学与技术两个一级学科博士学位授权点和
博士后流动站。是
机械制造系统工程国家重点实验室、
高端制造装备协同创新中心、机械工程以及仪器科学与技术博士点和博士后流动站的组成单位，同时筹建有“微纳制造与纳米测试技术” 高等学校学科创新引智基地、“微纳制造与测试技术” 国际合作联合实验室、陕西省微型机械电子系统（MEMS）研究中心、陕西省微纳传感器工程技术研究中心，有力地支持机械工程和仪器科学与技术两个一级学科的建设和发展。
西安交通大学精密工程研究所承担了973计划、863计划、国家重大科技专项、国家重大仪器专项、国际合作项目、
国家自然科学基金重点项目及其它国家和省部委科研项目百余项。获得国家技术发明二等奖3项，国家科技进步二等奖1项，何梁何利科学与技术进步奖1项，省部级奖项10项，全国百篇优秀博士学位论文1篇。发表文章800余篇，授权发明专利230余项，其中美国专利1项，毕业博士、硕士研究生200余名。
西安交通大学精密工程研究所共有教师及职工44名，其中教授11人、副教授9人、讲师（博士）13人，助理研究员11人。教师队伍中有中国工程院院士1名、国家杰出青年科学基金获得者1名、国家科技创新创业人才1名、国家“百千万人才工程” 入选者1名、中组部“万人计划”入选者1名、国家优秀青年基金获得者1名、教育部新世纪人才7名。团队成员荣获首届全国创优争先奖、何梁何利科技进步奖、
全国优秀科技工作者、中国机械工程学会青年科技成就奖、陕西省青年科技奖、陕西省青年科技标兵、西安科技人才奖等荣誉称号各1人次。