阳泉高新技术产业开发区位于
山西省阳泉市区东北部，由成立于1993年的阳泉经济开发区更名而来。
2015年5月1日，新托管
阳泉市郊区李家庄乡的侯家沟村、长岭村、驼岭头村，
杨家庄乡的张家洼村、路家山村和
平定县巨城镇的庙堰村等6个行政村，共计8.63平方公里，区域面积扩大到19.19平方公里。
2017年7月6日，山西省政府同意阳泉经济开发区整合阳泉东区工业园、郊区白泉工业园、郊区荫营工业园，实现扩区。扩区后阳泉经济开发区规划面积80平方公里，分南、北两区。其中，南区规划面积60平方公里，包括扩区前的开发区19.19平方公里、郊区白泉工业园区3.31平方公里和整合阳泉东区工业园区部分37.5平方公里；北区（郊区荫营工业园）规划面积20平方公里。
2021年7月13日，经山西省政府同意，山西省开发区建设工作领导小组办公室批复“阳泉经济开发区”更名为“阳泉高新技术产业开发区”，并明确阳泉高新技术产业开发区主导产业为新一代信息技术、现代装备制造和新材料。同年7月29日，阳泉高新技术产业开发区正式揭牌。
2020年8月，按照市委、市政府《关于进一步理顺阳泉经济技术开发区管委会和郊区政府管理体制的意见》（2020年6月23日市委专题会议和市政府第55次常务会议通过），受市政府委托，阳泉经济技术开发区管委会对辖区内的南杨家庄村、白家庄村、驼岭头村、路家山村和张家洼村5个行政村实施行政管理；受阳泉经济技术开发区管委会委托，郊区政府通过管理荫营园区管理服务中心对荫营园区（20平方公里）和白泉工业园（3.31平方公里）进行管理。 至2020年底，辖区总人口11.6万，市场主体达到12132个，其中：内资企业4652家，外商投资企业3家，个体工商户7437户，“四上”企业142家。2020年，工业投资13.1亿元，同比增速161.6%；规模以上工业增加值16.1亿元，同比增速5.1%；转型项目当年完成投资12.0亿元，占工业投资比重91.8%。实际利用外资4287.3万美元，同比增速45.2%。
2020年，与北京
中关村智酷合作的山西（阳泉）智创城No.7于11月23日在省发改委备案，与北京清研智造集团有限公司合作的清研先进制造产业研究院（阳泉）科创中心于7月22日签约，阳泉市高新技术创业服务中心被认定为国家级小型微型企业创业创新示范基地，并纳入开发区管理。阳泉众创网络科技有限公司运营的
百度（阳泉）创新中心备案为国家众创空间，阳泉市三和伟业企业孵化器有限公司投资建设运营的三和园科技孵化器升级为国家级科技孵化器。积极与
中北大学、
山西大学、
太原理工大学对接，搭建产业承接平台，推动创新要素集聚。中兴环能碳氢能源国际产业技术研究院和
山西工程技术学院非常规天然气核磁共振联合实验室，被列入省工信领域产学研新型研发机构（培育）库。
山西华鑫电气有限公司矿用电气智能制造列入山西省工业和信息化厅2020年省级智能制造十大试点示范企业。组建区级融资担保公司，设立环保科技产业基金，为企业创业提供金融支持。2020年，全区高新技术企业40家；“专精特新”企业9家；专精特新“小巨人”1家；培育民营科技企业24家。建立“山西省上市挂牌后备企业资源库”，洋权科技、诺达科技挂牌晋兴板。瑞正通、天和盛两家企业于12月15日完成股改。科技型中小企业入库73家，培育市级科技成果转化示范企业5家，市级科技成果转化示范基地1家。
阳泉高新技术产业开发区先后荣获“山西省产业转移示范区”、“山西省矿机装备制造产业示范基地”、“山西省海外高层次人才创新创业基地”、“山西省第二批双创示范基地”等殊荣，并被国家发改委授予“
产城融合示范区”。