阴极溅射法
物理学术语
1971年,平面阴极的发明使镀膜溅射速率远远超过了从前的方法。同时,溅射镀膜优越于蒸发镀膜的另一个重大进步是其可以向任何方向溅射。浮法玻璃可以很容易的在驱动辊上水平移动,但是当玻璃如此移动时蒸发镀膜无法向下移动。
发展历史
表1列出了近代玻璃镀膜技术史上的重大事件。玻璃镀膜技术发展日新月异,应用范围也从原来的汽车顶棚玻璃发展到包括建筑用平板玻璃和弯曲玻璃、住宅平板玻璃、汽车挡风曲面玻璃和CRT(阴极射线管)在内的众多品种。1983年,美国出现的大规模银基低辐射镀膜玻璃产品更扩展了镀膜玻璃在你民宅领域中的应用。同年,弯曲基面上的镀膜技术也被引入。银基的风挡玻璃进一步发展成为电热的、光学透明的膜面,为大量居住在寒冷地区的需要清除他们汽车挡风玻璃上的冰和积雪的人们所青睐。随后,大口径的镀膜机使得在大弯曲度的建筑玻璃上镀膜成为可能。
表1:近代玻璃镀膜技术史上的重大事件
1989年,圆柱旋转阴极作为镀膜工业的有一个标志性的进步问世了。不同于平面靶,它的靶材是圆筒状的,不断旋转的表面具有很多优点。其中,反应溅射期间电介质(氧化物和氮化物)的沉积速率的提高是一个关键优势。平面靶的反应溅射会在靶材非溅射区形成很厚的电介质层聚集,从而容易产生电介质的击穿或电弧。由于圆柱磁控靶表面在不断地溅射,可以显著地改善这个问题。
使用C-Mag旋转阴极可以使以往难以溅射的SiO2或Si3N4得以应用,这就是其中的一个关键优势,因为SiO2是许多光学镀膜如减反射镀层所需的低反射系数材料;Si3N4可形成极高化学和机械耐久性的、通常被用作保护膜的透明电介质膜。
1990年,第一片C-Mag镀的大面积溅射硅基光学膜走下生产线。到1992年它已经被扩展到要求极低缺陷的减反射光学膜的向上溅射配置。由于其无法超越的高产量,该技术至今一直被继续探索。
社会应用
目前已经有超过87条的BOC生产线在世界上23个国家投入使用。
参考资料
最新修订时间:2023-07-22 10:26
目录
概述
发展历史
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