预对准_由两个发光二极管及其对应的光探测器组成

预对准

由两个发光二极管及其对应的光探测器组成

在掩模固定的位置，设有预对准标识。预对准是由两个发光二极管及其对应的光探测器组成。

机械手把晶圆安放在工件台上后，首先是要预对准。晶圆的预对准是通过对其边缘的测定来实现的，即通过探测晶圆边缘的缺口来完成。根据SEMI标准，晶圆边缘必须有一个小缺口（notch），这个缺口可以是圆弧形的也可以是直线形的。

预对准标识是透光的，其周围是不透光的。发光二极管在掩模的预对准标识上方照明，光线透过对准标识，被探测器接收。每个探测器分为对称的四个区域，可以分别探测光信号，用来判断其对应位置。

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最新修订时间：2022-07-11 15:22

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