多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用
1988年8月科学出版社出版的图书
《多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用》是1988年8月科学出版社出版的图书，作者是王阳元。
内容简介
本书介绍了多晶硅薄膜的性质及其在MOS和双极型集成电路中的应用。
图书目录
目录
绪论
第一章 多晶硅薄膜的淀积
第二章 多晶硅薄膜的电学性质
第三章 杂质在多晶硅薄膜中的扩散和多晶硅薄膜的离子注入掺杂
第四章 多晶硅薄膜的热氧化
第五章 多晶硅薄膜的光学性质
第六章 多晶硅栅和多晶硅薄膜在MOS大规模集成电路中的应用
第七章 多晶硅发射极和多晶硅薄膜在双极集成电路中的应用
第八章 多晶硅的再结晶和三维集成电路
最新修订时间：2023-08-08 18:04
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概述
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