1988年7月获
吉林大学工学学士学位,1991年1月吉林大学获
工学硕士学位,1994年3月获
中国科学院金属研究所工学博士学位。1998.09-1999.12
香港城市大学访问学者,2000.09-2001.01 瑞士电子与微技术中心访问学者,2002.04-2003.10
阿拉斯加大学助理教授。
路新春本、硕就读于吉林大学,之后在中国科学院金属研究所获得了博士学位。1994 年 4 月,他进入清华大学博士后和讲师工作。1996 年-2012 年,路新春历任清华大学精密仪器与机械学系副教授、教授,2013 年后为清华大学机械工程系教授、首席研究员。华海清科创办后,路新春为公司董事长、总经理,2014 年 7 月兼任清华大学天津高端装备研究院副院长,2020 年办理离岗创业。
薄膜制备与表征,
纳米结构材料的微观力学性能及其微观摩擦学研究;化学机械抛光、腐蚀磨损研究;材料摩擦磨损研究。
1998年1月“激光检测原子力/摩擦力显微镜的研制及应用”获国家教委科技进步二等奖,1997年12月“金属磨蚀机理研究”获中国科学院自然科学三等奖,2001年5月“纳米级薄膜润滑理论与实验研究”获中国高校自然科学一等奖,2001年“纳米润滑理论与实验研究”获国家自然科学二等奖,2000年2月“纳米级润滑膜厚度测量技术研究”获清华大学科研成果推广应用效益显著专项奖,1997年1月“清华之友”获优秀青年教师奖励金二等奖。
2021年10月,由路新春教授带领清华大学成果转化项目公司华海清科研发的首台12英寸超精密晶圆减薄机(Versatile-GP300)正式出机,发往国内某
集成电路企业。该装备是路新春教授团队与
华海清科股份有限公司继解决我国集成电路抛光装备“
卡脖子”问题后的又一突破性成果,将应用于3D IC制造、先进封装等芯片制造大生产线,满足12英寸
晶圆超精密减薄工艺需求。
路新春教授团队坚持认为,大学在解决当前出现的关键核心技术“
卡脖子”问题上应当大有作为,且以产业报国为己任,积极推进科研成果转化,实现基础研究和产业需求纵向贯通。